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有真空發生器系統和真空泵系統兩類組合。 SMC ZX系列真空組件的結構緊湊、
達84kPa外，較大吸入流量可增大40%。SMC ZM系列真空組件多可集裝10
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供氣口有單獨供氣和集中供氣兩種，排氣口為集中排氣式。.ZX系列真空組件采
用了模塊式結構，根據使用目的，可以自由組合成不同功能的真空組合元件。
重量小（總組合才120g），故可直接安裝在執行元件上。特別適合于100G以下
Up to 84kPa, the maximum inhalation flow can be increased by 40%. SMC
的電子元件、零件的搬運、裝配和粘接下兩個重疊成一體，較大吸入流量.
SMC ZR系列為大型真空發生器組件，有多種組合方式。特別適合搬運0.5~5Kg的電
零件和零件，系模塊式組合。噴嘴直徑從ф1到ф2.標準型極限真空度為84kPa
，極限吸入流量為22~84L/min(ANR)。大流量型極限真空度為53kPa，極限吸入流量
ZM series vacuum assemblies can be assembled up to 10
There are two kinds of air supply and centralized air supply. The
.MC ZL系列為三級抽吸的真空發生器組件，帶真空過濾器及消音器，還有帶真空計或
真空壓力開關、供給閥、破壞閥的形式。噴嘴直徑為1.2mm。當供給壓力為0.4MPa時
，極限真空度為84kPa，較大吸入流量為100/min(ANR)。新型ZL212系列的3段接收管由
AD402-04,SMC真空過濾器性能類別
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