CA2TN50-150，SMC流量調(diào)節(jié)閥中文資料

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聯(lián)系人；居琦

特長(zhǎng) ##內(nèi)置中空濾芯。

##壓力降：0.03MPa(入口壓0.7MPa、較大流量時(shí))

##對(duì)應(yīng)RoHS指令(限制有害成分)

注) 入口空氣條件相當(dāng)于ISO 8573-1品質(zhì)等級(jí)1.4.1～1.6.1  

系列 使用流體 設(shè)定壓力 流量范圍 L/min (ANR) 

 直筒式 SFB100  Max.1.0MPa

(真空：1.3×10-6kPa)

 特長(zhǎng) ##可更換濾芯的卡盤式。

一次性使用式

 直筒式 SFB300  Max.15MPa

(真空：1.3×10-6kPa) 0.01μm

(捕捉效率99.99%) 

一次性使用式

 多層盤式 SFC100  Max.1.8MPa

(真空：1.3×10-6kPa) 

 特長(zhǎng) ##用于半導(dǎo)體工藝的一次性使用式。

 潔凈氣體濾網(wǎng) SFB200  Max.1.0MPa

(真空：1.3×10-6kPa) 120μm 

系列/CAD 種類 使用壓力 過濾精度 

SFD100  一次性使用式

(不可更換濾芯) MAX.1.0MPa 0.01μm

(捕捉效率：99.99%) 

SFD200  卡盤式

(可更換濾芯) 

LLB3  潔凈空氣

 氮?dú)庾? 0.05～0.4MPa 5～100 

LLB4  50～500 

特長(zhǎng) ##潔凈元件模塊化(削減配管工時(shí)/省空間)。

##可簡(jiǎn)便得到清潔空氣。

##過濾精度：0.01μm(捕捉效率99.99%)。

##接流體部：無潤(rùn)滑脂、無硅。

##潔凈室組裝兩層捆包出廠。

##可有24種組合。

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