小金井嵌入型氣缸，KOGANEL嵌入型氣缸安裝說明

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過濾器PLF系列 

●采用多孔中空絲膜濾芯，了同樣情況下平膜小芯10倍以上的接觸面積。

●過濾精度高、小型流量大、壽命長

●是適合于IC制造裝置等吹氣式終端過濾器 

過濾精度 處理空氣量 配管連接口徑 

0.01μm 50～100 l/min M5.Rc1/8 

凈化管路過濾器CLF系列 

●濾芯是PTFE制膜和PTFE制不織布構成的雙重構造確保了本產品的安定的性能。可以地捕捉0.01μm的微粒子

●使用的部件在無塵清潔室里進行了清洗。附著的微粒子極少，能立即投入使用。 

過濾精度 處理空氣量 配管連接口徑 

0.01μm 100 l/min Rc1/8.Rc1/4 

不銹鋼調壓閥RS系列 

適合于液晶、半導體相關工序中的各種溶劑、純水線路中傳送氣體的壓力控制、

噴氣壓力控制，潔凈空氣、氣體壓力控制等，需要耐腐蝕性的食品相關、無油脂、無潤滑油的線。 

壓力設定

MPa 處理空氣量 配管連接口徑 

0.05～0.7 0～

800 l/min M5～Rc1/4  

不銹鋼調壓閥PRS系列 

液晶、半導體相關工序中的各種溶劑、純水線路中傳送氣體的壓力控制、

噴氣壓力控制，潔凈空氣、氣體壓力控制等的設定（感度0.001MPa）。 

壓力設定

MPa 處理空氣量 配管連接口徑 

0.01～0.25 0～

250 l/min M5～Rc1/4 

小金井嵌入型氣缸，KOGANEL嵌入型氣缸安裝說明